真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理
2023.04.14
真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場等。氦質(zhì)譜檢漏儀堅固耐用，抗震性能強，可重復(fù)使用多年，仍保證高精度檢漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量可靠，保證了廣泛的市場應(yīng)用。但是使用氦質(zhì)譜檢漏需要具備一定的條件，如果沒達到相應(yīng)的條件，很可能造成嚴重后果。
真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應(yīng)安裝在符合儀器使用環(huán)境要求的地方，特別是氦質(zhì)譜泄漏檢測器的電源插座，應(yīng)符合要求，地線良好，通風(fēng)間距約30cm。
放置真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀，以避免傾斜或傾的危險。氦質(zhì)譜泄漏檢測器底部有一個安裝孔，可以固定在桌子或支架上。在儀器運行前，確保真空泵中的機械泵油是否足夠，機械泵油必須使用機械泵型號的特殊油。
真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀的較小可檢漏率（靈敏度），指的是在檢漏裝置在處于一個較佳的工作條件下（示漏氣體采用的是一個大氣壓的純氦），做“動態(tài)檢漏”時能檢出的較小漏孔的漏率。
1、較佳工作條件。
指被檢鍍膜設(shè)備部件的材料出氣很少，且沒有較大漏孔；檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到較佳工作狀態(tài)等。
2、動態(tài)檢漏。
指不用累積法進行檢漏，檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進行抽真空，裝置的反應(yīng)時長小于3s，3s當中的抽氣系統(tǒng)的時間常數(shù)是小于一秒的；
3、較小可檢。
指其信號是本底噪聲的兩倍；
4、漏孔的漏率。
指干燥空氣（100kPa的壓力）經(jīng)漏孔通向真空端（遠遠低于100kPa的壓力）的漏率。
對氦分壓變化有反應(yīng)的氦質(zhì)譜檢漏儀，為表征這種反應(yīng)特性，較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度，即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”，指處在工作壓力下（工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa）的質(zhì)譜室，使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號與裝置噪聲比為一或二時，當中氦的濃度。
